產品特點1)飛秒脈衝;
2)高脈衝能量和峰值功率;
3)近衍射極限光束品質;
4)穩定性,可靠性高;
此款雷射產品,採用先進的啁啾脈衝放大技術,實現近衍射極限的飛秒雷射輸出,在半導體和消費性電子領域已經批量使用,工藝優良,穩定性好。
產品應用:
1)切割,鑽孔,劃線(玻璃,矽,陶瓷,柔性電路板);
2) 薄膜圖案(金屬,薄膜);
3)打標(玻璃,矽,陶瓷,金屬,塑膠)。
序號 | 參數 | 規格 | 備註 |
1 | 運作模式 | 脈衝 | |
2 | 平均功率(W) | 50w@600kHz | 20w@100kHz |
3 | 中心波長(nm) | 1030 | |
4 | 線寬(nm) | <3 | 3dB線寬 |
5 | 重複頻率(kHz) | 50-2000 | 可調 |
6 | 脈衝寬度(fs) | 600-30000fs | 可客製化 |
7 | 最大單脈衝能量(uJ) | 200 | |
8 | 功率調節範圍(%) | 0-100 | |
9 | 反應時間(us) | <100 | |
10 | 光束質量(M2) | ≤1.3 | |
11 | 功率穩定性(%) | ≤2% | 24h |
12 | 光斑大小(mm) | 2.5±0.3 | 1/e2 |
13 | 光斑橢圓率(%) | >90 | Typ.93% |
14 | 光束偏移量(mm) | <1.0 | |
15 | 光束發散角(mrad) | <0.5 |